Effect of Residual Oxygen in a Vacuum Chamber on the Deposition of Cubic Boron Nitride Thin Film
진공조의 잔류산소가 입방정질화붕소 박막 합성에 미치는 영향
오승근;김영만;
[Oh, Seung-Keun;Kim, Youngman;]
전남대학교 신소재공학부;
Department of Materials Science and Engineering, Chonnam National University;
한국표면공학회지, Vol. 46, No. 4, pp. 139-144.
Growth of Nanocrystalline Diamond on W and Ti Films
W 및 Ti 박막 위에서 나노결정질 다이아몬드의 성장 거동
박동배;명재우;나봉권;강찬형;
[Park, Dong-Bae;Myung, Jae-Woo;Na, Bong-Kwon;Kang, Chan Hyoung;]
한국산업기술대학교 신소재공학과;
Department of Advanced Materials Engineering, Korea Polytechnic University;
한국표면공학회지, Vol. 46, No. 4, pp. 145-152.
A study on the Additive Decomposition Generated during the Via-Filling Process
Via-Filling 공정시 발생하는 첨가제 분해에 관한 연구
이민형;조진기;
[Lee, Min Hyeong;Cho, Jin Ki;]
한국산업기술대학교, 신소재공학과;
Department of Advanced Materials Engineering, Korea Polytechnic University;
한국표면공학회지, Vol. 46, No. 4, pp. 153-157.
Effects of Chloride Ion on Accelerator and Inhibitor during the Electrolytic Cu Via-Filling Plating
전해 Cu Via-Filling 도금에서 염소이온이 가속제와 억제제에 미치는 영향
유현철;조진기;
[Yu, Hyun-Chul;Cho, Jin-Ki;]
한국산업기술대학교 신소재공학과;
Department of Advanced Materials Engineering, Korea Polytechnic University;
한국표면공학회지, Vol. 46, No. 4, pp. 158-161.
Temperature Distribution According to the Structure of a Conductive Layer during Joule-heating Induced Encapsulation for Fabrication of OLED Devices
OLED 소자 제조를 위한 주울 가열 봉지 공정 시 도전층 구조에 따르는 열분포
장인구;노재상;
[Jang, Ingoo;Ro, Jae-Sang;]
(주)엔씰텍;홍익대학교 공과대학 신소재 공학과;
EnSilTech Corporation;Department of Materials Science and Engineering, Hongik University;
한국표면공학회지, Vol. 46, No. 4, pp. 162-167.
Anti-corrosion Properties of CrN Thin Films Deposited by Inductively Coupled Plasma Assisted Sputter Sublimation for PEMFC Bipolar Plates
유도 결합 플라즈마-스퍼터 승화법을 이용한 고분자 전해질 연료전지 분리판용 CrN 박막의 내식성연구
유영군;주정훈;
[You, Younggoon;Joo, Junghoon;]
군산대학교 공과대학 신소재공학과, 플라즈마 소재 응용 센터;
Department of Materials Science and Engineering, Plasma Materials Research Center Kunsan National University;
한국표면공학회지, Vol. 46, No. 4, pp. 168-174.
[Jang, Chang-Young;Kim, Sung-Hoon;]
Department of Engineering in Energy & Applied Chemistry, Silla University;
한국표면공학회지, Vol. 46, No. 4, pp. 175-180.